1. انتخاب: مراحل آغازین انجام پیمایش الکترونیکی تفاوتی با پیمایش سنتی ندارد و مولف می‌بایست در مورد جامعه مورد مطالعه خود تصمیم بگیرد و سؤالهایی را که قصد دارد در پرسشنامه بگنجاند مشخص کند و یا به عبارت دیگر محتوای پرسشنامه را تهیه کند. در اینجا مسئله نمونه‌گیری مطرح است که اگر جامعه پژوهش جامعه نامشخصی باشد پژوهشگر باید تمهیدات لازم را برای دستیابی به یک نمونه نسبتا قابل قبول بیندیشد.
2. طراحی: پس از انجام مقدمات فوق، نوبت به طراحی پرسشنامه الکترونیکی می‌رسد. تصمیم در مورد اینکه چه نوع پرسشنامه‌ای مناسب پژوهش است (وب یا پست الکترونیکی) باید با توجه به محدودیت‌های مالی، زمانی و فنی پژوهش و نیز ویژگیهای جامعه پژوهش اتخاذ شود.
3. سنجش کارآیی: پس از طراحی پرسشنامه، باید آنرا آزمود. در اینجا منظور از آزمون، سنجش کارآیی است که هدف آن از آزمون روایی و صحت پرسشنامه متفاوت است هر چند که می‌توان هر دو را در یک مرحله و با هم انجام داد. در آزمون صحت و روایی، هدف آن است که به مشکلات و ابهامهای احتمالی موجود در عبارتبندی سؤالها و ساختار پرسشنامه و مواردی از این قبیل پی برد. اما در آزمون کارآیی هدف اصلی آن ویژگیهای فنی پرسشنامه است تا اطمینان حاصل شود که پاسخ دهندگان از لحاظ فنی برای پاسخگویی به پرسشنامه الکترونیکی با مشکلی رو به رو نخواهند شد. مشکلات فنی می‌توانند شامل اشکال در ارسال پاسخها، رویت پرسشنامه در صفحه رایانه، بارگذاری صفحه وب و غیره رخ دهد. در مورد پرسشنامه‌های مبتنی بر پست الکترونیکی به عنوان مثال باید اطمینان حاصل کرد که نظم چارچوب نامه ارسالی و پرسشنامه مندرج پس از ارسال تغییر نخواهد کرد. در مورد پرسشنامه‌های مبتنی بر وب بهتر است پژوهشگر صفحه وب پرسشنامه را با استفاده از مرورگرهای وب مختلف و صفحات نمایش رایانه با وضوح متفاوت بیازماید تا اطمینان حاصل کند که پاسخ دهندگان با مشکلی برای خواندن پرسشنامه مواجه نخواهند شد. این نکات در مورد پرسشنامه‌هایی که به زبان فارسی طراحی می‌شوند اهمیت بیشتری دارد. از آنجا که هنوز استاندارد واحدی برای استفاده از فونتهای فارسی در رایانه‌ها وجود ندارد، احتمال ناخوانا بودن یک متن فارسی نوشته شده با یک عامل در سیستم عامل دیگر کم نیست.
4. توزیع: مرحله بعد توزیع پرسشنامه و یا به عبارت دیگر آگاه ساختن پاسخ دهندگان از پیمایش و دعوت آنها برای پاسخ دادن به سوالهاست. مطلع ساختن پاسخ دهندگان بسته به نوع پرسشنامه (وب یا پست الکترونیکی) و جامعه پژوهش متفاوت است. به عنوان مثال می‌توان به این شیوه‌ها اشاره کرد: ارسال نامه الکترونیکی به تک‌تک افراد، ارسال نامه الکترونیکی به یک گروه خبری، قرار دادن پیوند صفحه وب پرسشنامه روی وب‌سایتهای مرتبط، استفاده از پنجره‌های پاپ آپ، توزیع بروشور و غیره. ارسال نامه یادآوری در مواردی که از نامه الکترونیکی برای دعوت از مشارکت‌کنندگان استفاده شده و زمان بندی ارسال نامه نیز از موارد مهمی است که باید به آن توجه داشت
5. داده‌پردازی: تحلیل داده‌ها آخرین مرحله انجام پیمایش است که یکی از نقاط قوت پیمایشهای الکترونیکی است. از آنجا که پاسخها در پیمایشهای الکترونیکی به صورت الکترونیکی گردآوری می‌شوند لذا انتقال آنها به نرم افزار تحلیل آماری و صفحات گسترده نظیر اکسل و اس پی اس اس به سادگی انجام می‌شود و مستلزم صرف ساعتها برای ورود دستی داده‌ها به رایانه نیست. همچنین خطای انسانی ناشی از ورود داده‌های فراوان که از مشکلات گریبانگیر روش سنتی است در پیمایش الکترونیکی به حداقل می‌رسد. در تحلیل داده‌ها به برخی نکات باید توجه داشت از جمله حذف پاسخهای تکراری.
منبع: ISI web of knowledge